岛津SPM-9600型扫描探针显微镜（SPM），又称原子力显微镜（AFM），是利用细微的探针，在样品表面扫描，进行高放大倍率观察三维形貌的显微镜。SPM-9600是以快速观察，操作简单而拥有优良声誉的新一代SPM。

仪器特点：

1、清晰的观察图像
SPM-9600在基本观察功能的基础上融入了更强的测量功能，具备了卓越的信号处理功能，再加上研发的VBDF(Variable Bandwidth Digital Filter)功能，数字处理能力比同类产品提高40%，可得到更高分辨率，更高质量的观察图像。SPM-9600是一种全新的换代产品。

2、丰富的检测模式
标准配置模式包括接触，动态和位相三种模式。
扩展模式包括：力调制、侧向力，磁力（MFM）、电流、表面电势（KFM）等检测模式，并能和纳米压痕仪与Q调制系统联用，可以轻松地升级到可控气氛模式。无论是初学者还是专家都可轻松使用。

3、简便快捷的操作
SPM-9600的操作界面简明易懂。软件的自动化功能帮助用户都能轻松操作。并具备防振动、噪声的结构，可不受外界干扰，快速地观察各种样品。

4、可扩展到控制气氛SPM
通过追加选配件控制气氛腔，可升级到控制气氛型扫描探针显微镜WET-SPM系列。

仪器技术参数：

测定模式	标准：接触、动态、相位
	选配模式：力调制模式、电流模式、磁力（MFM）模式、表面电位模式（KFM）、水平力模式（LFM）
分辨率	水平0.2nm　垂直0.01nm
扫描范围（X/Y/Z）	30μm×30μm×5μm（标准）
	125μm×125μm×7μm（选配）
	55μm×55μm×13μm（选配）
样品形状	24mm × 8mm
样品装载方式	头部滑动机构
分束器滑动机构	内置在AFM头内

■设置室的环境 　

设置室理想的空调条件如下。

温度　23°±5℃
湿度　60%以下

■电源
运行本装置需要如下电源。
单相 100V-120V　50/60Hz　10A　1路
接地　第3种地线

■装置的尺寸和重量
SPM单元 W180×D255×H260mm 5.5kg
控制单元 W250×D420×H454mm 18.5kg