AXIS-ULTRA DLD型X射线光电子能谱仪由岛津制作所的全资子公司--英国KRATOS公司生产，是实时成像XPS的产品，空间分辨率小于3μm。

仪器特点：

1.能够与多种测定技术集成

AXIS-ULTRA DLD型标准配备了具有多个国际标准窗口的样品处理室，作为样品的前处理腔，功能强大且扩展性强。能够对应样品加热制冷及具有反应功能的样品反应池，多样品停放器等许多选购件。样品分析室可以增加UPS、FE-AES、ISS等分析方法，可以组合成复合分析装置。

2.延迟线探测器（DLD）系统

采用了研发的延迟线探测器。既可以生成谱图又可以生成图像。各测定模式均可以提供正确的脉冲计数。不仅可以在描谱仪模式下，通过128个检测通道提供高灵敏度的测定，还可以不通过分析器的能量扫描，利用快速非扫描的“快照”谱仪模式瞬间测定窄扫描谱。成像模式能够提供256×256像素、空间分辨率小于3μm的高分辨率图像。

3.平行成像和微区谱图

采用平均半径达165mm的大型静电半球分析器与成像专用的球镜分析器（Kratos专利）组合的合成分析器。在进行化学状态分析、深度方向分析等的谱仪分析时，通过大型静电半球分析器能够提供高能量分辨率、高灵敏度的测定。多点微区测定时利用输入透镜内的光电子偏转系统，能够实现准确的点分析。利用球镜分析器进行平行成像。光电子成像的空间分辨率小于3μm，能够在谱仪测定的同时，极短时间内得到高分辨率图像。